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螺杆真空泵在半导体行业应用较为广泛,而干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵,在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。下面是螺杆真空泵公司带来的相关介绍。
来看看,干式真空泵应用于半导体行业的优势。干式真空泵、干式螺杆真空泵应用于半导体优势如下:消除了工艺过程中油污染或油搭载进入尾气处理系统的风险;不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境;完全干燥,对上下游工艺没有任何污染;干式螺杆真空泵无任何腐蚀风险;吸入的溶剂或其他有用成分可以在泵的出口直接回收;干式真空泵工作效率更高、耗电更少。
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