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螺杆真空泵厂家浅谈螺杆真空泵的相关资讯

2022-09-17 08:53:55

干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。下面是螺杆真空泵厂家带来的相关介绍。

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。螺杆式干式真空泵是一种工作容积作回转运动的容积式机械真空泵。气体的压缩依靠容积的变化来实现,而容积的变化又是借助螺杆泵的一对转子在机壳内作回转运动来达到。它的工作客积在周期性扩大和缩小的同时,其空间位置也在变更。


螺杆真空泵

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